Описание
Приставка магнетронного распыления ПМР-3 – специализированное научно-техническое устройство, выполняющее функции приставки магнетронного распыления. Отличается высокой скоростью осаждения пленок; возможностью работы в длинном списке материалов; возможностью изменения конечных свойств и структуры напыляемых пленок; минимальным тепловым воздействием на все поверхности, попадающих под обработочную работу; а также повышенной точностью сохранения взаимных соотношений присутствующих компонентов во время распыления сложносоставных веществ.
Назначение
Приставка ПМР-3 предназначена, чтобы модернизировать научно-технические комплексы серии ВН-2000. Магнетронный распылитель ПМР-3 заменяет собой устаревший аналог серии ВУП-5 и за счет использования улучшенных рабочих технических настроек и характеристик, а так же повышенной точности работы обеспечивает качественное улучшение функционала комплексов серии ВН-2000.
Магнетронный распылитель завод Укрросприбор – это полностью герметичное устройство цилиндрической формы, устанавливаемое посредством специального фланца в верхнем положении рабочей камеры вакуумного комплекса серии ВН-2000. Прибор поставляется исключительно в комплекте имеющем дополнительный блок питания, монтируемым отдельно.
Характеристики
|
Маркировочное название |
Приставка распыления ПМР-3 |
|
Тип устройства |
Магнетронный распылитель, дополнительное оборудование |
|
Направление распыления |
Сверху вниз |
|
Напряжение блока питания, В |
900,0 |
|
Ток блока питания, А |
1,0 |
|
Диаметр мишени, мм |
80,0 |
|
Габаритные характеристики устройства (размер), мм: - блок питания - распылитель |
540х465х220 180х180х80 |
